注入機(jī)離子源配件還能提高芯片制造的效率。減少生產(chǎn)過(guò)程中的調(diào)整和糾錯(cuò)時(shí)間，大大提升了芯片的產(chǎn)出速度。

如果注入機(jī)離子源配件出現(xiàn)問(wèn)題，可能會(huì)導(dǎo)致離子注入不均勻、能源不穩(wěn)定等情況，嚴(yán)重影響芯片的質(zhì)量和良率。